IRB 1300 PECVD硅片裝卸
發(fā)布時間：2021-06-17 09:51:06 作者：顯揚科技
• 使用ABB全新的IRB 1300機器人將硅片裝入石墨舟中，將石墨舟中的硅片取出，放回花籃內。
• IRB 1300機器人的設計同時兼顧了負載和臂展，使其更加適合在狹小空間內進行重物的搬運及取放動作。同時，該單元使用了小巧的OmniCore控制器，占地空間小，內置的高速度、高精度運動控制系統，能夠輕松完成易碎硅片的取放作業(yè)。
• IRB 1300和OmniCore的使用，使該工藝單元裝卸速度和穩(wěn)定性進一步提升，破片率≤0.02%。
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